Kernuitrusting van PR-reinigingsgeautomatiseerde productielijn voor fabrikanten van LCD-schermen
De geautomatiseerde productielijn voor PR-reiniging (fotoresist) is een kernapparatuur voor natte processen in de productie van LCD-schermen. Het wordt voornamelijk gebruikt na het fotolithografieproces op het array-substraat om resterende fotoresist, etsresten en micro-oppervlakteverontreinigingen grondig te verwijderen. Het is cruciale apparatuur om de precisie van paneelcircuits te garanderen en de productopbrengst te verbeteren. Hij is perfect geschikt voor de strenge productieomgeving van een klasse 100-cleanroom en realiseert hoge-precieze, geautomatiseerde en vervuilings-vrije gesloten-lusreinigingsoperaties.
Het richt zich op de positieve en negatieve fotoresistresten na het fotolithografieproces en maakt gebruik van een meerfasig ultrasoon reinigingsproces + spoelproces met zuiver water om vuil, organische verontreinigingen, stofdeeltjes en andere onzuiverheden die achterblijven na het etsen met fotolithografie diep te verwijderen. Het kan microscopisch kleine resten van minder dan 0,5 μm grondig verwijderen, waardoor defecten worden voorkomen zoals open circuits in het paneel, heldere plekken en Mura-vlekken veroorzaakt door onzuiverheden. Gecombineerd met een 0,1 μm hoog-precisiefiltratiesysteem voorkomt het secundaire vervuiling. Het zorgt voor een grondige, schadevrije -verwijdering, waarbij de impact van resterende lijmlagen op daaropvolgende ets- en coatingprocessen wordt vermeden, met een verwijderingsdekkingsgraad van 100%.
De ingebouwde-elektrostatische ESD-regelmodule regelt strikt de elektrostatische waarde binnen het bereik van minder dan of gelijk aan ±100V. Gecombineerd met het anti-statische materiaal uit de holte en de niet-contacttechnologie voor magnetische wielen, wordt voorkomen dat elektrostatische ontladingen de precisiecircuits van het paneel beschadigen, terwijl ook krassen, afbrokkeling en stofvorming door wrijving op het glassubstraat worden voorkomen, waardoor de bescherming van de integriteit van het substraat wordt gemaximaliseerd.
Hoge en lage temperatuur testkamer met constante temperatuur
De kern van de geautomatiseerde reinigings- en droogproductielijnapparatuur voor fabrikanten van LCD-schermen integreert een dubbele droogmodus: snijden met een luchtmes en drogen met hete lucht op constante- temperatuur. Hierdoor worden watervlekken snel van het substraatoppervlak verwijderd, waardoor watermerkvrij en spoorvrij- wordt gedroogd. Na het drogen nadert het vochtgehalte van het substraatoppervlak de nul, waardoor directe overdracht naar het volgende proces mogelijk is zonder secundaire verwerking, waardoor de procescontinuïteit wordt gegarandeerd. Een PLC-besturingssysteem maakt volledig geautomatiseerde gesloten-lusbediening van laden, positioneren, reinigen en lossen mogelijk. Het ondersteunt realtime monitoring- en alarmfuncties voor het aanpassen van de concentratie, temperatuur, vochtigheid en reinheid van de reinigingsoplossing. De afgedichte kamer en het gradiëntonderdrukontwerp voorkomen lekkage van chemische gassen. Gecombineerd met de positieve drukomgeving van een klasse 100 cleanroom, maakt het ook recycling van ultrapuur water en classificatie en terugwinning van afvalvloeistoffen mogelijk, waarbij wordt voldaan aan zowel de vereisten voor energiebesparing als milieubescherming.
Vergeleken met traditionele handmatige reiniging hebben volledig geautomatiseerde PR-reinigingsproductielijnen onvervangbare voordelen: de reinigingsefficiëntie wordt meer dan drie keer verhoogd en er kunnen bijna 10.000 glassubstraten per dienst worden verwerkt, waardoor de procescyclus aanzienlijk wordt verkort; de reinigingsconsistentie is uitstekend, waarbij micro-resten kleiner dan 0,5 μm grondig worden verwijderd, waardoor het aantal paneeldefecten binnen 0,5 ppm wordt beperkt, waardoor defecten zoals heldere plekken, donkere plekken en circuitonderbrekingen op het scherm effectief worden vermeden; de apparatuur heeft een water-besparend en energie-besparend ontwerp, met een hoog zuiverwaterterugwinningspercentage en geclassificeerde opvang en behandeling van afvalwater, waardoor wordt voldaan aan de productievereisten op het gebied van milieubescherming; De hele machine is gemaakt van corrosie-bestendig PVC en SUS304 roestvrij staal, met sterke afdichting, eenvoudige reiniging en onderhoud, en is geschikt voor 24-uur continu gebruik in cleanrooms. Dit wordt standaarduitrusting voor fabrikanten van LCD-schermen om hoogwaardige productlijnen te bouwen en de concurrentiepositie te verbeteren.
Kernapparatuur in de fotolithografiewerkplaats van fabrikanten van LCD-schermen
De belichtingsapparatuur is de kernapparatuur in de fotolithografiewerkplaats en een belangrijk procesgebied in het productieproces van LCD-arrays. Het wordt ook wel een paneellithografiemachine genoemd en is een optisch apparaat voor nat proces met hoge-precisie. De belangrijkste functie ervan is het overbrengen van het ontwerppatroon van het substraatcircuit naar een glassubstraat bedekt met fotoresist via optische belichting, wat cruciaal is voor de vorming van micro-circuits in het paneel. De nauwkeurige overdracht van het circuitpatroon van het fotomasker naar het glassubstraat is een voorwaarde voor daaropvolgende ets-, coating- en PR-reinigingsprocessen, die rechtstreeks de kwaliteit van het beeldscherm bepalen. De apparatuur maakt gebruik van een -contactbelichtingsproces, geschikt voor grote- dunne LCD-glassubstraten, waardoor krassen, schade en verontreiniging van het substraat worden vermeden.
De belangrijkste technologische hoogtepunten zijn onder meer een zeer-precies uitlijningssysteem met overlay-nauwkeurigheid op micron-niveau of zelfs sub{2}}micron-niveau, waardoor geen verkeerde uitlijning wordt gegarandeerd bij het stapelen van circuits met meerdere- lagen, waarbij fouten worden gecontroleerd tot op een paar duizendste van de diameter van een haar; het gebruik van een uniforme belichtingslichtbron en dynamische focustechnologie om schommelingen in de belichtingsenergie te bereiken<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
De hele werkplaats maakt gebruik van een monochromatische gele lichtbron van 589 nm, die licht met een korte- golflengte, zoals ultraviolet, blauw en wit licht, volledig uitfiltert, waardoor wordt voorkomen dat deze stralen voortijdig fotochemische reacties in de fotoresist veroorzaken, wat fatale defecten veroorzaakt, zoals verkeerde uitlijning van patronen, onvolledige lijnen, kortsluiting en open circuits. Het verlichtingssysteem maakt gebruik van een combinatie van speciale gele LED's en dubbel-laagfilters om strooilichtlekkage te voorkomen; deuren, ramen en observatieramen zijn voorzien van anti-ultraviolette filtermaterialen; mobiele telefoons, camera's, zaklampen met hoog-vermogen en andere externe lichtbronnen zijn ten strengste verboden in de werkplaats, en er wordt een volledige-lichtdisciplinecontrole geïmplementeerd om het risico van voortijdige blootstelling van fotoresist van de bron te elimineren.
Inleiding tot klasse 100 cleanrooms voor fabrikanten van LCD-schermen
Op het gebied van LCD-productie met hoge{0}}precisie zijn klasse 100 cleanrooms (ISO klasse 5 cleanrooms) de belangrijkste productiefaciliteit en een belangrijke indicator voor de technische kracht en productopbrengst van een fabrikant. Ze worden veel gebruikt in kernprocesfasen zoals array, celassemblage en moduleverpakking door toonaangevende displaybedrijven zoals BOE, TCL CSOT, HKC en Tianma. Deze cleanrooms hebben strenge reinheidsnormen, met niet meer dan 100 zwevende stofdeeltjes met een diameter groter dan of gelijk aan 0,5 μm per kubieke voet lucht (kleiner dan of gelijk aan 3520 per kubieke meter). Dit reinheidsniveau overtreft dat van medische operatiekamers ruimschoots en dient als een ‘hardcore barrière’ om te voorkomen dat stof, statische elektriciteit en chemische verontreinigingen de precisieprocessen verstoren. Het is een kernhardwarecomponent die rechtstreeks de beeldkwaliteit, levensduur en opbrengst van het scherm bepaalt.
De werkplaats is strikt ontworpen en gebouwd in overeenstemming met de internationale en binnenlandse ISO-normen. Het maakt gebruik van een verticale unidirectionele luchtstroommodus, gekoppeld aan een vier- ULPA-filtratiesysteem (voor- filter, medium- filter, hoog- efficiënt filter en ultra- hoog- efficiënt filter), waardoor een filterefficiëntie tot 99,999% wordt bereikt, waardoor onmiddellijke verwijdering van stof wordt gegarandeerd en dode zones in de luchtstroom worden geëlimineerd. Tegelijkertijd wordt een nauwkeurige omgevingscontrole over alle dimensies bereikt: een constante temperatuur van 23 ± 1 graad, een relatieve vochtigheid gecontroleerd op 45%-55%, een positieve druktoestand gehandhaafd in de schone ruimte, en een drukverschil groter dan of gelijk aan 10 Pa tussen aangrenzende gebieden, waardoor de infiltratie van extern stof volledig wordt voorkomen; gezien de gevoeligheid van displaypanelen voor elektrostatische schade, wordt er gebruik gemaakt van anti-statische epoxy zelf-nivellerende vloeren, en worden 304 roestvrijstalen en cleanroomkleurige staalplaten gebruikt voor wanden en plafonds, met strikte controle van de statische elektriciteitswaarden gedurende het hele proces; Er wordt extra controle geboden op chemische verontreinigende stoffen op VOS-niveau op moleculair-niveau en latente interferentie zoals microvibraties, waardoor wordt voldaan aan de vereisten van processen op nanoschaal, zoals fotolithografie, dunne-filmdepositie en injectie van vloeibare kristallen.
De werkplaats hanteert een gelaagd ontwerp voor cleanroomzones, verdeeld in een kerngebied van klasse 100, een buffergebied van klasse 1000 en een hulpgebied van klasse 10.000, met lagen die kruis-besmetting voorkomen, en personeel en geautomatiseerde materiaaltransportlijnen zijn volledig gescheiden. Het personeel moet een drievoudig proces ondergaan: het omkleden, een luchtdouche en elektrostatische detectie, en mag alleen naar binnen na het dragen van een volledig-cleanroompak, stof-vrije handschoenen en een veiligheidsbril; materialen worden overgebracht via onderling verbonden transfervensters en ondergaan een behandeling voor het verwijderen van stof en statische elektriciteit; het interieur is uitgerust met FFU-laminaire stromingskappen, online deeltjestellers, temperatuur- en vochtigheidssensoren, verschildrukmonitors en andere apparatuur om 24-uur realtime monitoring en gegevenstraceerbaarheid te bereiken, en zal onmiddellijk waarschuwingen geven en aanpassingen maken in geval van abnormale indicatoren om voortdurende omgevingsstabiliteit te garanderen.
